上海吉派流体控制技术（集团）有限公司

GP-16.2 高真空摆式隔离阀提供稳定可靠的隔离性能，并兼具低颗粒数与低颗粒活化率。特别平滑的启闭动作显著提升了颗粒控制性能，非常适用于对洁净度要求严格的高真空工艺。
该系列是苛刻工艺中真空隔离的理想选择，例如蒸发和溅射等应用场景。GP-16.2 系列可选配三位气动驱动（单作用带关闭弹簧）或标准气动驱动（单作用带关闭弹簧），以满足不同的系统控制需求。
凭借其分体式结构设计，GP-16.2 系列可在无需拆卸管道连接或工艺室连接的情况下进行维护，极大地缩短维护时间。其纤薄型设计允许阀门直接安装于工艺室中，减少了传统工艺室–阀门–泵连接所需的空间占用。

坚固的结构和多样化的配置选项，使 GP-16.2 系列能够轻松集成到各种真空工艺系统中。该系列已在全球数百个批量生产与在线生产系统中长期运行，充分证明了其在不同工艺条件下的**性能与可靠性。

GP-16.2 高真空摆式隔离阀主要特点

特点
• 在严苛工艺环境中具备可靠隔离性能
• 低冲击启闭，低颗粒活化
• 工艺惰性高，残余气体（RGA）含量极低

优势
• 高度正常运行时间
• 运行成本低
• 维护简便

尺寸		DN 200 (8″)，DN 250 (10″)，DN 320 (12″)，DN 350 (14″)，DN 400 (16″)，DN 500 (20″)
驱动器	气动	带闭合弹簧 (NC) 的单作用
	3 位气动	带闭合弹簧 (NC) 的单作用
阀体材料		铝
贯通性		旋转式贯通件
标准法兰		ISO-F，ASA-LP，JIS
泄漏率	阀体；阀座	< 1 × 10⁻⁸ mbar l s⁻¹
压力范围		1 × 10⁻⁸ mbar 至 1.2 bar (绝对压强)
阀板可承受压差		≤ 1.2 bar
打开时可承受压差	DN 200	≤ 10 mbar
	DN 250 – 500	≤ 5 mbar
首次维护前开关次数		20 万次
温度	阀体	≤ 120 °C
	驱动器	≤ 80 °C
	电磁阀	≤ 50 °C
	位置指示器	≤ 80 °C
加热和冷却速率		≤ 30 °C h⁻¹
材料	阀体、罩型、密封圈	EN AW-5083 (3.3547)，EN AW-6082 (3.2315)
	DN 200 – 400	EN AC-42100 (3.2371)
	DN 500	—
	贯通件（与介质接触的部分）	AISI 303 (1.4305)，AISI 304 (1.4301)
密封	阀帽、碟型、活力、贯通件	氟橡胶 (Viton®)
安装位置		任何位置
电磁阀		24 V DC，5.4 W (可根据要求提供其他值)
位置指示器：触点额定值	电压	≤ 50 V AC/DC
	电流	≤ 1.2 A
阀门位置指示		视觉 (机械)

产品中心

真空摆阀