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GP-25.1 - 高真空钢瓶阀(内联型)

GP-25.1 高真空钢瓶阀 适用于在 任何条件下均需实现可靠隔离 的高真空工艺,尤其是含有腐蚀性物质及颗粒的苛刻气体环境,例如 次晶圆厂工艺。该系列提供 角型(GP-25.0)、串联型(GP-25.1) 以及 三通两路型(GP-25.2) 三种设计版本,均采用最大流导率结构,以确保最佳性能。
产品介绍
产品参数
GP-25.1 高真空钢瓶阀 适用于在 任何条件下均需实现可靠隔离 的高真空工艺,尤其是含有腐蚀性物质及颗粒的苛刻气体环境,例如 次晶圆厂工艺。该系列提供 角型(GP-25.0)、串联型(GP-25.1) 以及 三通两路型(GP-25.2) 三种设计版本,均采用最大流导率结构,以确保最佳性能。
为实现**的耐用性与延长正常运行时间,GP-25.1 系列采用 密封保护系统,结合钢瓶式结构优势,兼顾高流导与**长的密封寿命。
该系统通过 倾斜–旋转–倾斜 的动作模式运行:
在阀门关闭时,阀芯会通过提起动作将闸封从阀座上移开,避免摩擦、密封磨损以及颗粒生成。
在阀门全开(90°旋转)时,阀芯会将密封件轻柔压向阀体,避免密封件暴露在含磨蚀颗粒的气流中。
此外,断电状态下阀体机构会 机械锁定在最后的开启或关闭位置,以确保运行安全。

GP-25.1 系列经过数千次苛刻应用条件验证,展现出**的可靠性和适应性,成为高真空隔离领域的理想选择。


GP-25.1 高真空钢瓶阀主要特点

特点
• 适用于恶劣工艺环境,设计可靠、成熟
• 倾斜–旋转–倾斜 密封保护机制,有效延长密封寿命
• 最大流导设计,确保优异的抽气与排气性能

优势
• 性能稳定可靠
• 维护量低,易于维护
• 拥有成本低




尺寸 DN 16 (⅝″),DN 25 (1″),DN 40 (1 ½″)
驱动器 气动 双作用
阀体材料
标准法兰 ISO-KF,ISO-KF*“半角型”
泄漏率 阀体、阀座 < 1 × 10⁻⁹ mbar l s⁻¹
压力范围 1 × 10⁻⁸ mbar 至 3 bar(绝对压强)
阀板可承受压差 关闭方向 ≤ 1.2 bar
开启方向 ≤ 3.0 bar
打开时可承受压差 ≤ 1.2 bar
首次维护前开关次数 10 万次
温度 阀体 ≤ 120 °C
驱动器 ≤ 120 °C
位置指示器 ≤ 80 °C
材料 阀体 EN AW-6060 (3.3206)、EN AW-6082 (3.2315)
阀板、阀盖法兰 EN AW-6082 (3.2315)
AISI 316L (1.4435),Ni-PTFE 涂层
阀板紧固螺钉、垫圈 A4-80,Ni-PTFE 涂层
密封 阀盖、阀板、惯通件 氟橡胶
惯通件 旋转锁通件
安装位置 任何位置
位置指示器:触点额定值 电压 10 – 30 V DC
电流 5 – 100 mA
阀门位置指示 LED

服务热线:

021-33656178

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