GP-25.1 高真空钢瓶阀 适用于在 任何条件下均需实现可靠隔离 的高真空工艺,尤其是含有腐蚀性物质及颗粒的苛刻气体环境,例如 次晶圆厂工艺。该系列提供 角型(GP-25.0)、串联型(GP-25.1) 以及 三通两路型(GP-25.2) 三种设计版本,均采用最大流导率结构,以确保最佳性能。
为实现**的耐用性与延长正常运行时间,GP-25.1 系列采用 密封保护系统,结合钢瓶式结构优势,兼顾高流导与**长的密封寿命。
该系统通过 倾斜–旋转–倾斜 的动作模式运行:
在阀门关闭时,阀芯会通过提起动作将闸封从阀座上移开,避免摩擦、密封磨损以及颗粒生成。
在阀门全开(90°旋转)时,阀芯会将密封件轻柔压向阀体,避免密封件暴露在含磨蚀颗粒的气流中。
此外,断电状态下阀体机构会 机械锁定在最后的开启或关闭位置,以确保运行安全。
GP-25.1 系列经过数千次苛刻应用条件验证,展现出**的可靠性和适应性,成为高真空隔离领域的理想选择。
GP-25.1 高真空钢瓶阀主要特点
特点
• 适用于恶劣工艺环境,设计可靠、成熟
• 倾斜–旋转–倾斜 密封保护机制,有效延长密封寿命
• 最大流导设计,确保优异的抽气与排气性能
优势
• 性能稳定可靠
• 维护量低,易于维护
• 拥有成本低