GP-25.2 高真空钢瓶阀 适用于 任何条件下都需要可靠隔离 的高真空工艺环境,尤其是在含有腐蚀性物质及颗粒的苛刻气体场景中,例如 次晶圆厂工艺。该系列提供 角型(GP-25.0)、串联型(GP-25.1) 以及 三通两路型(GP-25.2) 三种结构版本,均采用最大流导设计,确保真空系统高效运行。
为实现**耐用性与延长正常运行时间,GP-25.2 系列配备 密封保护系统,结合钢瓶结构优势,兼顾高流导性能与**长的密封寿命。该系统通过 倾斜–旋转–倾斜 的动作模式运行:
在阀门关闭时,阀芯会提起并移除阀座上的闸封,避免摩擦、密封磨损及颗粒生成。
在阀门全开(90°旋转)时,阀芯会轻柔地将密封件压向阀体,避免密封件暴露于含磨蚀颗粒的气流中。
此外,在断电状态下,阀体机构会 机械锁定在最后的开启或关闭位置,确保运行安全性。
GP-25.2 高真空钢瓶阀主要特点
特点
• 适用于苛刻工艺环境,设计可靠、成熟
• 倾斜–旋转–倾斜 密封保护机制,有效延长密封寿命
• 最大流导设计,确保优异的抽气与排气性能
优势
• 性能稳定可靠
• 维护量少,易于维护
• 拥有成本低