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GP-25.2 - 高真空钢瓶阀(三-双向型)

GP-25.2 高真空钢瓶阀 适用于 任何条件下都需要可靠隔离 的高真空工艺环境,尤其是在含有腐蚀性物质及颗粒的苛刻气体场景中,例如 次晶圆厂工艺。该系列提供 角型(GP-25.0)、串联型(GP-25.1) 以及 三通两路型(GP-25.2) 三种结构版本,均采用最大流导设计,确保真空系统高效运行。

为实现**耐用性与延长正常运行时间,GP-25.2 系列配备 密封保护系统,结合钢瓶结构优势,兼顾高流导性能与**长的密封寿命。
产品介绍
产品参数
GP-25.2 高真空钢瓶阀 适用于 任何条件下都需要可靠隔离 的高真空工艺环境,尤其是在含有腐蚀性物质及颗粒的苛刻气体场景中,例如 次晶圆厂工艺。该系列提供 角型(GP-25.0)、串联型(GP-25.1) 以及 三通两路型(GP-25.2) 三种结构版本,均采用最大流导设计,确保真空系统高效运行。

为实现**耐用性与延长正常运行时间,GP-25.2 系列配备 密封保护系统,结合钢瓶结构优势,兼顾高流导性能与**长的密封寿命。该系统通过 倾斜–旋转–倾斜 的动作模式运行:

在阀门关闭时,阀芯会提起并移除阀座上的闸封,避免摩擦、密封磨损及颗粒生成。

在阀门全开(90°旋转)时,阀芯会轻柔地将密封件压向阀体,避免密封件暴露于含磨蚀颗粒的气流中。

此外,在断电状态下,阀体机构会 机械锁定在最后的开启或关闭位置,确保运行安全性。

GP-25.2 高真空钢瓶阀主要特点

特点
• 适用于苛刻工艺环境,设计可靠、成熟
• 倾斜–旋转–倾斜 密封保护机制,有效延长密封寿命
• 最大流导设计,确保优异的抽气与排气性能

优势
• 性能稳定可靠
• 维护量少,易于维护
• 拥有成本低


尺寸 16 mm (⅝″),25 mm (1″),40 mm (1 ½″)
驱动器 气动 双作用
阀门位置指示 LED
阀体材料
贯通件 旋转式贯通件
打开时可承受压差 ≤ 1.2 bar
压力范围 1 × 10⁻⁸ mbar 至 3 bar(绝对压强)
标准法兰 ISO-KF;ISO-KF*“半角型”;CF-R
首次维护前开关次数 100 000
温度 驱动器 ≤ 120 °C
位置指示器 ≤ 80 °C
密封 贯通件 FKM
安装位置 任何

服务热线:

021-33656178

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