GP-61.3 高真空蝶形控制阀 在各种条件下均可实现**的压力控制性能。凭借 快速且精准的执行控制器（响应时间 0.1 秒），该系列阀门是 CVD（化学气相沉积） 和 ALD（原子层沉积） 工艺中进行精细压力调节的理想解决方案。

阀板可作为节流元件，通过改变开度来调节流导特性。集成压力控制器能够实时计算所需的阀板位置，从而快速实现设定压力并保持稳定。

该系列产品专为 下游气流含颗粒的苛刻工艺环境 设计。即使在颗粒载荷高、且存在因设计造成的碎屑沉积的条件下，GP-61.3 系列 依然能够稳定可靠地运行。

GP-61.3 高真空蝶形控制阀主要特点

特点
• **的压力控制性能
• 运行响应速度极快（0.1 秒级别）
• 内置板载软件，可实现本地独立运行
• 在恶劣工艺条件下依然能够稳定可靠运行

优势
• 工艺过程可控性**佳
• 正常运行时间长，性能稳定不受限
• 运行成本低